Atomic Level Patterning Process of SiO2 Thin Films for Advanced Nanoelectronics

제목
Atomic Level Patterning Process of SiO2 Thin Films for Advanced Nanoelectronics
저자
박태주
발행일
2020-11-19
학회명
한국재료학회 춘추계통합학술대회
개최지
대한민국/제주 휘닉스 섭지코지