Anti-plasma and Corrosion for Robust-Mechanical Al/Al2O3/Y2O3 Multilayer Substrate

제목
Anti-plasma and Corrosion for Robust-Mechanical Al/Al2O3/Y2O3 Multilayer Substrate
저자
좌용호
발행일
2024-10-31
학회명
The 38th International Japan-Korea Seminar on Ceramics
개최지
일본