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- 제목
- 신규 EUV 펠리클 국부 건식 세정 장치 및 방법
- 제목 (타언어)
- Pellicle cleaning apparatus and pellicle cleaning method using the same
- 저자
- 박진구; 안진호; 김태곤
- 발행일
- 2024-07-09
- 출원번호
- 17/889,472
- 등록번호
- 12,032,281
- 출원일
- 2022-08-17
- 등록일
- 2024-07-09
- 발행국가
- 미국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 삼성전자(주),한양대학교 에리카산학협력단