상세 보기
Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ru Using Amino Group-Containing Inhibitors for Metal/Dielectric Selectivit
- 제목
- Area-Selective Atomic Layer Deposition of Ru Using Amino Group-Containing Inhibitors for Metal/Dielectric Selectivit
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2021-10-21
- 학회명
- 대한금속재료학회 추계학술대회
- 개최지
- 제주 국제 컨벤션센터 (ICC Jeju)