상세 보기
Advanced Atomic Layer Deposition: Titanium Nitride Thin Films growth using Discrete Feeding Method with Brute Hydrazine
- 제목
- Advanced Atomic Layer Deposition: Titanium Nitride Thin Films growth using Discrete Feeding Method with Brute Hydrazine
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2025-11-27
- 학회명
- 2025 한국표면공학회 추계학술대회
- 개최지
- 강릉 라카이샌드파인