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Ferroelectricity of Hf1-xZrxO2 Thin Films Using Hf[Cp(NMe2)3] and Zr[Cp(NMe2)3] Precursors Depending on Zr Content via Atomic Layer Deposition
- 제목
- Ferroelectricity of Hf1-xZrxO2 Thin Films Using Hf[Cp(NMe2)3] and Zr[Cp(NMe2)3] Precursors Depending on Zr Content via Atomic Layer Deposition
- 저자
- 안지훈
- 발행일
- 2022-01-25
- 학회명
- 29회 반도체학술대회