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신규 Mo 전구체를 이용한 ALD 증착 MoO2와 DRAM capacitor용 고유전율 rutile-TiO2 증착 연구

제목
신규 Mo 전구체를 이용한 ALD 증착 MoO2와 DRAM capacitor용 고유전율 rutile-TiO2 증착 연구
저자
안지훈
발행일
2025-04-18
학회명
2025 한국세라믹학회 춘계학술대회

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