Oxidation of thermoelectric Bi2Te3-based alloys by atomic layer deposition of Ru metal

제목
Oxidation of thermoelectric Bi2Te3-based alloys by atomic layer deposition of Ru metal
저자
박태주
발행일
2022-06-22
학회명
2022 한국전기전자재료학회 하계학술대회
개최지
강원도 평창 알펜시아리조트