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신규 Hf 전구체를 이용한 고온 ALD HfO2 박막의 불순물 특성 개선

제목
신규 Hf 전구체를 이용한 고온 ALD HfO2 박막의 불순물 특성 개선
저자
박태주
발행일
2022-06-23
학회명
2022년도 한국표면공학회 춘계학술대회
개최지
인하대학교

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