선형구동기 오차운동측정을 위한 멀티프로브법의 센서배치조건에 대한 연구

A study on sensor arrangement condition of multi-probe method to measure error motions of a linear stage
  • 김민규
  • 이동혁
  • 조남규

키워드

error motion measurementerror separationmulti-probe methodlinear stagestraightness
제목
선형구동기 오차운동측정을 위한 멀티프로브법의 센서배치조건에 대한 연구
제목 (타언어)
A study on sensor arrangement condition of multi-probe method to measure error motions of a linear stage
저자
김민규이동혁조남규
발행일
2014-05
저널명
한국정밀공학회지
2014년도 춘계학술대회논문집
페이지
334 ~ 334