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키워드
error motion measurement; error separation; multi-probe method; linear stage; straightness
- 제목
- 선형구동기 오차운동측정을 위한 멀티프로브법의 센서배치조건에 대한 연구
- 제목 (타언어)
- A study on sensor arrangement condition of multi-probe method to measure error motions of a linear stage
- 저자
- 김민규; 이동혁; 조남규
- 발행일
- 2014-05
- 저널명
- 한국정밀공학회지
- 권
- 2014년도 춘계학술대회논문집
- 페이지
- 334 ~ 334