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Effect of synthesis materials and process parameters on polyvinyl acetal (PVA) brushes properties and incoming impurities
- 제목
- Effect of synthesis materials and process parameters on polyvinyl acetal (PVA) brushes properties and incoming impurities
- 저자
- 김태곤
- 발행일
- 2025-10
- 유형
- Proceeding
- 저널명
- International Conference on Planarization/CMP Technology
- 페이지
- 223 ~ 225
- 언어
- KOR
- 출판사
- Chinese Mechanical Engineering Society (CMES)
- 분량
- 3 페이지