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기체크로마토그래피/비행시간질량분석기(GC/TOF)를 이용한 반도체 공정 환경에서 발생하는 유기오염물질 표적/비표적 추적 기법
Tracking tool based on target and non-target screening analysis for organic contaminants in semi-conductor process with gas chromatography/time-of-flight mass spectrometry (GC/TOF)
- 문효방;
- 목소리
- 제목
- 기체크로마토그래피/비행시간질량분석기(GC/TOF)를 이용한 반도체 공정 환경에서 발생하는 유기오염물질 표적/비표적 추적 기법
- 제목 (타언어)
- Tracking tool based on target and non-target screening analysis for organic contaminants in semi-conductor process with gas chromatography/time-of-flight mass spectrometry (GC/TOF)
- 저자
- 문효방; 목소리
- 발행일
- 2021-02-04
- 출원번호
- 10-2019-0015759
- 등록번호
- 10-2214705
- 출원일
- 2019-02-11
- 등록일
- 2021-02-04
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단