다성분 단일 합금 타겟과 질소유량의 변화에 따라 증착한 Mo-Cu-(N) 박막의 기계적 특성 및 마찰 특성에 대한 연구

제목
다성분 단일 합금 타겟과 질소유량의 변화에 따라 증착한 Mo-Cu-(N) 박막의 기계적 특성 및 마찰 특성에 대한 연구
저자
이선영
발행일
2020-06-26
학회명
2020 한국표면공학회 춘계학술대회
개최지
부산, 대한민국