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Preface-JSS Focus Issue on CMP for Sub-10 nm Technologies
- Philipossian, Ara;
- Park, Jin-Goo
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SCOPUS
5- 제목
- Preface-JSS Focus Issue on CMP for Sub-10 nm Technologies
- 저자
- Philipossian, Ara; Park, Jin-Goo
- 발행일
- 2019-05
- 유형
- Editorial Material
- 권
- 8
- 호
- 5
- 페이지
- Y1 ~ Y1
- 언어
- ENG
- 출판사
- ELECTROCHEMICAL SOC INC
- 발행국가
- 미국
- ISSN
- P 2162-8769