Effects of Al Doping Position in Rutile TiO2 Thin Films Deposited via Atomic Layer Deposition

제목
Effects of Al Doping Position in Rutile TiO2 Thin Films Deposited via Atomic Layer Deposition
저자
안지훈
발행일
2025-04-18
학회명
2025 한국세라믹학회 춘계학술대회