상세 보기
Low Temperature Crystallization of Atomic Layer Deposited SrTiO3 Films with Minimal Interfacial Reactions
- 제목
- Low Temperature Crystallization of Atomic Layer Deposited SrTiO3 Films with Minimal Interfacial Reactions
- 저자
- 박태주
- 발행일
- 2024-01-25
- 학회명
- 제31회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 경주화백컨벤션센터