Investigation of Phases and Chemical States of Tin Titanate Films Grown by Atomic Layer Deposition

제목
Investigation of Phases and Chemical States of Tin Titanate Films Grown by Atomic Layer Deposition
저자
박태주
발행일
2020-02-13
학회명
제27회 한국반도체학술대회
개최지
대한민국/강원도 정선 하이원리조트