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Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Aminosilane Inhibitor Molecules
- 제목
- Enhanced Selectivity of Atomic Layer Deposited Ru Thin Films through the Discrete Feeding of Aminosilane Inhibitor Molecules
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2021-01-27
- 학회명
- 제 28회 한국반도체학술대회
- 개최지
- 온라인