다 성분 단일 합금 타겟을 사용하여 질소유량의 변화에 따라 증착한 Mo-Cu-Cr-(N) 박막의 기계적 특성 및 마찰 특성에 대한 연구

제목
다 성분 단일 합금 타겟을 사용하여 질소유량의 변화에 따라 증착한 Mo-Cu-Cr-(N) 박막의 기계적 특성 및 마찰 특성에 대한 연구
저자
이선영
발행일
2020-12-18
학회명
2020년도 한국표면공학회 추계학술대회 및 특별강습회
개최지
부산, 대한민국