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Low-Resistivity Molybdenum Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition Using a New Reducing Agent
- 제목
- Low-Resistivity Molybdenum Thin Films Deposited by Atomic Layer Deposition Using a New Reducing Agent
- 저자
- 안지훈
- 발행일
- 2020-11-03
- 학회명
- ENGE2020
- 개최지
- 제주도