고종횡비 구조 내 표면 보호제의 물리흡착을 이용한 HfO2의 깊이 선택적 원자층 연구

제목
고종횡비 구조 내 표면 보호제의 물리흡착을 이용한 HfO2의 깊이 선택적 원자층 연구
저자
김우희
발행일
2026-05-29
학회명
KSDT 2026