Switching characteristics of the imprinted TiN/Si:HfO2/TiN capacitors depending on the annealing temperature

제목
Switching characteristics of the imprinted TiN/Si:HfO2/TiN capacitors depending on the annealing temperature
저자
강보수
발행일
2019-10-25
학회명
한국물리학회 2019년 가을학술논문발표회
개최지
광주 김대중컨벤션센터