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Advanced Area-Selective Atomic Layer Deposition through the Discrete Feeding of Short-Chain Inhibitor Molecules
- 제목
- Advanced Area-Selective Atomic Layer Deposition through the Discrete Feeding of Short-Chain Inhibitor Molecules
- 저자
- 김우희
- 발행일
- 2021-10-06
- 학회명
- IUMRS-ICA 2021
- 개최지
- 제주 국제 컨벤션센터 (ICC Jeju)