건식 적층 방식을 이용한 Cu-Sn alloy 박막의 저온 적층 최적화에 대한 연구

제목
건식 적층 방식을 이용한 Cu-Sn alloy 박막의 저온 적층 최적화에 대한 연구
저자
이선영
발행일
2020-02-24
출원번호
10-2018-0015713
등록번호
10-2083075
출원일
2018-02-08
등록일
2020-02-24