Thermal compression of copper to copper direct bonding by copper films electrodeposited at low temperature and high current density

제목
Thermal compression of copper to copper direct bonding by copper films electrodeposited at low temperature and high current density
저자
유봉영
발행일
2020-11-05
학회명
제2회 한국소재표면기술컨퍼런스 안산
개최지
한국/한양대학교 ERICA 컨퍼런스홀 & 게스트하우스