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- 제목
- 고 스트레스를 갖는 금속막의 습식전해 증착법(Electrodeposition)을 이용한 결정질 실리콘(c-Si) 박막 박리 방법
- 제목 (타언어)
- Lift-off of single crystal Si layers with high stress electrodeposited metal layer
- 저자
- 이정호; 유봉영
- 발행일
- 2014-03-17
- 출원번호
- 10-2012-0073766
- 등록번호
- 10-1377707-00-00
- 출원일
- 2012-07-06
- 등록일
- 2014-03-17
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단