Preventing Overburden on Cu Redistribution Layers with Self-Assembled Monolayers

제목
Preventing Overburden on Cu Redistribution Layers with Self-Assembled Monolayers
저자
유봉영
발행일
2018-06-15
학회명
표면공학회 춘계학술대회
개최지
대한민국, 한양대학교 Erica