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Enhancing Nuclei Density and Grain Refinement in Copper Electrodeposition via Potential Difference Surface Activation of Ruthenium in Sulfuric Acid
- 제목
- Enhancing Nuclei Density and Grain Refinement in Copper Electrodeposition via Potential Difference Surface Activation of Ruthenium in Sulfuric Acid
- 저자
- 유봉영
- 발행일
- 2025-04-01
- 학회명
- (사)한국마이크로전자 및 패키징학회 2025년 정기학술대회
- 개최지
- 한국