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초박형 멤브레인 실리콘/금속 이종 접합 기판 제조 방법
abrication of thin membrane silicon/metal substrate
- 제목
- 초박형 멤브레인 실리콘/금속 이종 접합 기판 제조 방법
- 제목 (타언어)
- abrication of thin membrane silicon/metal substrate
- 저자
- 유봉영
- 발행일
- 2018-12-28
- 출원번호
- 10-2017-0123309
- 등록번호
- 10-1935267
- 출원일
- 2017-09-25
- 등록일
- 2018-12-28
- 발행국가
- 대한민국
- 지식재산권 유형
- 특허
- 양수인
- 한양대학교 에리카산학협력단