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박진구
Park, Jin Goo
ERICA 첨단융합대학
ERICA 신소재·반도체공학전공
연구분야
- (Bio-)MEMS,
- 반도체/전자재료 세정,
- 연마
자료 필터
자료유형
발행연도
1992 ~ 2027
1992 2027
키워드
언어
전체 949건 중 231번부터 240번까지의 결과를 표시합니다.
2016
Conference
Insulation Shield를 이용한 TMEMM(Through-Mask Electrochemical Micromachining) 공정의 균일도 개선
- 2016-11-18
Book
Developments in Surface Contamination and Cleaning: Methods for Surface Cleaning, 1st Edition
- 2016-11
- Elsevier
Conference
THE EFFECT OF PARTICLE AND EUV MASK MATERIALS ON THE PARTICLE ADHESION AND REMOVAL
- 2016-10-24
Conference
Interaction between carbon contaminant and EUV mask surface and its removal using organic solvent and base chemical cleaning solution
- 2016-10-24